Dans l'industrie microélectronique, le processus de génération de produits chimiques est basé sur un mélange désormais classique d'eau désionisée et de gaz qui conduit à un bon contact entre les deux phases. L'objectif du mélange est de produire une aire interfaciale importante en dispersant la phase gazeuse sous forme de bulles dans l'eau désionisée. En utilisant l'échangeur micro-onde muni d''une double entrée coaxiale pour l'eau désionisée et le gaz, il est intéressant d'explorer le procédé de génération chimique. Cette hypothèse se base sur un mélange moléculaire activé par micro-ondes c'est-à-dire par le mouvement induit par micro-ondes des produits de réaction tels que les ions et les molécules polaires.
La mesure du débit massique de sortie et la variation de température totale associée DT de l'échangeur en fonction de la puissance micro-onde à flux de gaz constant fournissent l'information nécessaire à la détermination de la vitesse de réaction, de l'efficacité du processus de dissolution et à déterminer si oui ou non ce dispositif de génération chimique est adapté au marché de la microélectronique.
La contribution à la variation de température totale causée par le processus de génération chimique est la chaleur de dissolution. L'absorption de cette énergie peut être obtenue par une faible température de l'eau désionisée à l'entrée.
Ce processus peut être généralisé au marché du réacteur chimique de petite dimension pour la production en ligne de produits chimiques activé par micro-ondes à partir de deux phases liquides. La présence des micro-ondes peut réduire le temps de réaction, augmenter l'efficacité de la réaction et aussi fournir la chaleur à la réaction si nécessaire.
Conseils de sécurité : Dans un procédé chimique activé par micro-ondes, nous recommandons vivement de n'effectuer aucune manipulation faisant intervenir un solvant volatile et/ou inflammable dans un circuit ouvert ou fermé à l'aide de l'échangeur micro-onde. Les pressions dues à l'augmentation de la température peuvent atteindre de très grandes valeurs. Par conséquent, ce champ d'application ne doit concerner que les ingénieurs qui ont une bonne connaissance des processus chimiques activés par micro-ondes.