Quelques entreprises ont effectué des recherches dans le domaine du chauffage de l'eau ultra-pure pour la fabrication de dispositifs à semiconducteur. La plupart des techniques sont basées sur le chauffage du fluide à travers les parois du tuyau en Téflon PFA qui le contient. "Le problème le plus important empêchant la commercialisation est le coût des générateurs de puissance micro-ondes pour des applications nécessitant au moins 50 kW. Les générateurs micro-ondes à eux seuls sont approximativement quatre fois plus coûteux que des systèmes de chauffage complets basés sur l'utilisation des infrarouges ou du contact direct mis en vente aux Etats-Unis." commentait un équipementier américain de l'industrie du semiconducteur. Ce problème subsiste dans les autres segments de marché.
L'objectif de ce travail est de prédévelopper un concept de chauffage micro-ondes entièrement nouveau afin de surmonter le coût de fabrication élevé mentionné ci-dessus.
En ce qui concerne les applications, la stratégie à long terme proposée est d'offrir un échangeur micro-onde modulaire sur le marché de l'équipement du semiconducteur puis de procéder à un transfert de technologie par l'intermédiaire d'accords avec des partenaires pour les autres segments de marché.
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